沈(shen)陽潔(jie)凈(jing)室(shi)沈(shen)陽凈(jing)化工(gong)程沈(shen)陽空(kong)氣(qi)凈(jing)化工(gong)程裝(zhuang)修是(shi)指(zhi)將(jiang)一定(ding)空(kong)間(jian)范圍內空(kong)氣(qi)中的(de)微粒子、有害空(kong)氣(qi)、細菌等污染物(wu)排除，并將(jiang)室(shi)內溫(wen)度、潔(jie)凈(jing)度、室(shi)內壓力、氣(qi)流速度與(yu)氣(qi)流分布、噪音振動及(ji)(ji)照明(ming)、靜電控(kong)制在(zai)某(mou)一需求(qiu)范圍內，而所(suo)給(gei)予特別設計的(de)房(fang)間(jian)。亦即(ji)是(shi)不論外在(zai)之空(kong)氣(qi)條件如何變化，其室(shi)內均能(neng)(neng)俱有維(wei)持原(yuan)先所(suo)設定(ding)要求(qiu)之潔(jie)凈(jing)度、溫(wen)濕(shi)度及(ji)(ji)壓力等性能(neng)(neng)之特性。
潔(jie)(jie)凈室(shi)(shi)(shi)按其(qi)氣流(liu)(liu)(liu)狀(zhuang)態來(lai)區分，主(zhu)要分為亂流(liu)(liu)(liu)(非單向流(liu)(liu)(liu))潔(jie)(jie)凈室(shi)(shi)(shi)、單向流(liu)(liu)(liu)潔(jie)(jie)凈室(shi)(shi)(shi)和輻流(liu)(liu)(liu)潔(jie)(jie)凈室(shi)(shi)(shi)(也有稱矢流(liu)(liu)(liu)潔(jie)(jie)凈室(shi)(shi)(shi)的(de))，這一(yi)節(jie)主(zhu)要討(tao)論亂流(liu)(liu)(liu)潔(jie)(jie)凈室(shi)(shi)(shi)。前(qian)面已經指出，不論是(shi)哪一(yi)種潔(jie)(jie)凈室(shi)(shi)(shi)，都是(shi)紊流(liu)(liu)(liu)流(liu)(liu)(liu)態。那(nei)為什么不都叫紊流(liu)(liu)(liu)潔(jie)(jie)凈室(shi)(shi)(shi)呢?
亂流潔凈室的(de)(de)(de)(de)(de)名稱(cheng)是(shi)(shi)借用于日文，但(dan)是(shi)(shi)日文的(de)(de)(de)(de)(de)亂流就是(shi)(shi)紊流的(de)(de)(de)(de)(de)意思(si)，而中國(guo)**早在《空氣潔凈技術措施》中正式采用的(de)(de)(de)(de)(de)亂流一(yi)(yi)詞是(shi)(shi)兼有(you)紊流的(de)(de)(de)(de)(de)含義而不同于流體(ti)力(li)學上(shang)的(de)(de)(de)(de)(de)紊流這一(yi)(yi)專有(you)名詞。**上(shang)習慣稱(cheng)這種潔凈室為非單向(xiang)流潔凈室。
所(suo)謂亂流潔凈室，一般包(bao)括以(yi)下各種(zhong)送(song)風(feng)形式：
⑴高效過濾(lv)器(qi)頂送(有擴散板(ban)(ban)和無擴散板(ban)(ban)
⑵流線型散流器頂進
⑶局部孔板頂送
⑷側送
具有這些送風形式的(de)(de)潔(jie)凈室(shi)(shi)(shi)，如以(yi)(yi)雷諾(nuo)數判斷(duan)，顯然(ran)屬于紊(wen)流(liu)流(liu)態(tai)，但是如果把它們稱為紊(wen)流(liu)潔(jie)凈室(shi)(shi)(shi)就不合適。氣(qi)流(liu)沿整(zheng)個頂棚下送，室(shi)(shi)(shi)內速(su)度達到0.25m/s以(yi)(yi)上，這種(zhong)室(shi)(shi)(shi)內的(de)(de)流(liu)動(dong)狀(zhuang)態(tai)也(ye)是紊(wen)流(liu)，但在后(hou)面就會搞清(qing)楚，雖然(ran)這兩(liang)種(zhong)送風方(fang)式都造成(cheng)室(shi)(shi)(shi)內紊(wen)流(liu)流(liu)態(tai)，但是就其凈化(hua)室(shi)(shi)(shi)內空氣(qi)的(de)(de)原理來說，卻是根本不同(tong)的(de)(de)，后(hou)者(zhe)屬于單向流(liu)或平行流(liu)潔(jie)凈室(shi)(shi)(shi)的(de)(de)凈化(hua)原理。所以(yi)(yi)如果把前者(zhe)稱為紊(wen)流(liu)潔(jie)凈室(shi)(shi)(shi)，則后(hou)者(zhe)也(ye)應被包含進(jin)去了(le)。
亂(luan)流(liu)(liu)潔凈室(shi)的(de)(de)(de)主要特(te)點是(shi)(shi)從來(lai)(lai)流(liu)(liu)到出(chu)流(liu)(liu)(從送風口(kou)到回風口(kou))之間氣流(liu)(liu)的(de)(de)(de)流(liu)(liu)通截(jie)面(mian)是(shi)(shi)變化的(de)(de)(de)，潔凈室(shi)截(jie)面(mian)比(bi)送風口(kou)截(jie)面(mian)大(da)得多，因而不(bu)能(neng)在(zai)全(quan)室(shi)截(jie)面(mian)或者在(zai)全(quan)室(shi)工作區截(jie)面(mian)形成(cheng)勻(yun)速氣流(liu)(liu)。所以(yi)，送風口(kou)以(yi)后(hou)的(de)(de)(de)流(liu)(liu)線彼此(ci)有(you)很(hen)大(da)或者越來(lai)(lai)越大(da)的(de)(de)(de)夾角(jiao)，曲率半徑很(hen)小，氣流(liu)(liu)在(zai)室(shi)內不(bu)可能(neng)以(yi)單一方向流(liu)(liu)動，將(jiang)會彼此(ci)撞擊，將(jiang)有(you)回流(liu)(liu)、旋渦產生(sheng)。這就決(jue)定(ding)亂(luan)流(liu)(liu)潔凈室(shi)的(de)(de)(de)流(liu)(liu)態(tai)實質是(shi)(shi)：突變流(liu)(liu);非均勻(yun)流(liu)(liu)。
這(zhe)比用紊(wen)流(liu)(liu)(liu)來描述亂(luan)流(liu)(liu)(liu)潔凈室更確切、更全面。紊(wen)流(liu)(liu)(liu)主要決定于(yu)雷諾數(shu)，也就是(shi)主要受流(liu)(liu)(liu)速的(de)影響，但是(shi)如果(guo)采用一個高效過濾器頂送(song)的(de)送(song)風形式，則即使流(liu)(liu)(liu)速極(ji)低，也要產生上述各種結果(guo)，這(zhe)就因(yin)為(wei)它是(shi)一個突變流(liu)(liu)(liu)和非均(jun)勻(yun)流(liu)(liu)(liu)。因(yin)此這(zhe)種情況下不僅(jin)有流(liu)(liu)(liu)層之間因(yin)紊(wen)流(liu)(liu)(liu)流(liu)(liu)(liu)動而發生的(de)摻混，而且還有全室范圍(wei)內的(de)大的(de)回流(liu)(liu)(liu)、旋渦(wo)所發生的(de)摻混。
所以(yi)(yi)，概括地說，亂流(liu)潔(jie)凈(jing)室(shi)的作用原理(li)是：當(dang)一股干凈(jing)氣流(liu)從(cong)(cong)送風口送入室(shi)內時，迅(xun)速向四周擴散、混(hun)合，同時把(ba)差不多同樣數(shu)量的氣流(liu)從(cong)(cong)回風口排走，這股干凈(jing)氣流(liu)稀(xi)釋(shi)著(zhu)室(shi)內污染的空(kong)氣，把(ba)原來(lai)含塵濃(nong)度(du)很(hen)高的室(shi)內空(kong)氣沖淡了，一直達(da)到平衡。所以(yi)(yi)氣流(liu)擴散得越快，越均勻，稀(xi)釋(shi)的效(xiao)果就(jiu)越好。所以(yi)(yi)亂流(liu)潔(jie)凈(jing)室(shi)的原理(li)就(jiu)是稀(xi)釋(shi)作用。
潔凈室(shi)(shi)**主要之(zhi)作用在于(yu)(yu)(yu)控制(zhi)產(chan)品(pin)(如硅芯片(pian)等)所(suo)接觸之(zhi)大氣的(de)(de)(de)(de)潔凈度日及溫濕度，使產(chan)品(pin)能在一(yi)個良好之(zhi)環境空間(jian)中(zhong)(zhong)生產(chan)、制(zhi)造(zao)(zao)，此空間(jian)我們(men)稱之(zhi)為潔凈室(shi)(shi)。按照**慣例，無塵(chen)(chen)凈化**主要是(shi)(shi)根據每立(li)方米空氣中(zhong)(zhong)粒子直徑(jing)大于(yu)(yu)(yu)劃分標準的(de)(de)(de)(de)粒子數量來(lai)規(gui)定。也就是(shi)(shi)說所(suo)謂無塵(chen)(chen)并非**沒有(you)一(yi)點灰(hui)塵(chen)(chen)，而(er)是(shi)(shi)控制(zhi)在一(yi)個非常微(wei)量的(de)(de)(de)(de)單(dan)位上(shang)。當(dang)然這個標準中(zhong)(zhong)符合(he)灰(hui)塵(chen)(chen)標準的(de)(de)(de)(de)顆(ke)粒相對于(yu)(yu)(yu)我們(men)常見的(de)(de)(de)(de)灰(hui)塵(chen)(chen)已經是(shi)(shi)小的(de)(de)(de)(de)微(wei)乎(hu)其微(wei)，但是(shi)(shi)對于(yu)(yu)(yu)光學構造(zao)(zao)而(er)言，哪怕是(shi)(shi)一(yi)點點的(de)(de)(de)(de)灰(hui)塵(chen)(chen)都會產(chan)生非常大的(de)(de)(de)(de)負面(mian)影(ying)響，所(suo)以(yi)在光學構造(zao)(zao)產(chan)品(pin)的(de)(de)(de)(de)生產(chan)上(shang)，無塵(chen)(chen)是(shi)(shi)*然的(de)(de)(de)(de)要求(qiu)。
每立方(fang)米將小(xiao)于0.3微米粒(li)徑的微塵(chen)數(shu)量控(kong)制在3500個以(yi)下，就達(da)到了**無(wu)塵(chen)標準(zhun)的**。芯(xin)片級(ji)生產(chan)加工的無(wu)塵(chen)標準(zhun)對于灰塵(chen)的要求(qiu)高(gao)于**，這樣(yang)的主要被應用(yong)在一些等級(ji)較高(gao)芯(xin)片生產(chan)上。0.5uM及(ji)以(yi)下的微塵(chen)數(shu)量被嚴格控(kong)制在每立方(fang)英寸1000個以(yi)內(nei)，這也就是(shi)業內(nei)俗稱的1K**。
