四(si)川凈化工(gong)(gong)程四(si)川潔凈凈化裝修四(si)川潔凈室出現了工(gong)(gong)藝對(dui)溫(wen)(wen)濕(shi)(shi)(shi)度(du)(du)(du)(du)(du)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)要(yao)求也越(yue)(yue)(yue)來(lai)越(yue)(yue)(yue)嚴的(de)(de)(de)(de)(de)(de)趨勢。具體工(gong)(gong)藝對(dui)溫(wen)(wen)度(du)(du)(du)(du)(du)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)要(yao)求以(yi)后還要(yao)列(lie)舉(ju)，但作為總的(de)(de)(de)(de)(de)(de)原則看，由于(yu)(yu)加工(gong)(gong)精(jing)度(du)(du)(du)(du)(du)越(yue)(yue)(yue)來(lai)越(yue)(yue)(yue)精(jing)細(xi)，所以(yi)對(dui)溫(wen)(wen)度(du)(du)(du)(du)(du)波動范圍(wei)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)要(yao)求越(yue)(yue)(yue)來(lai)越(yue)(yue)(yue)小。例(li)如在(zai)大(da)規模集成電路生(sheng)(sheng)產的(de)(de)(de)(de)(de)(de)光(guang)刻曝(pu)光(guang)工(gong)(gong)藝中(zhong)，作為掩膜板材(cai)料的(de)(de)(de)(de)(de)(de)玻(bo)璃與硅(gui)片的(de)(de)(de)(de)(de)(de)熱膨脹系數的(de)(de)(de)(de)(de)(de)差要(yao)求越(yue)(yue)(yue)來(lai)越(yue)(yue)(yue)小。直徑100um的(de)(de)(de)(de)(de)(de)硅(gui)片，溫(wen)(wen)度(du)(du)(du)(du)(du)上升1度(du)(du)(du)(du)(du)，就(jiu)引(yin)起了0.24um線(xian)性膨脹，所以(yi)應該(gai)有±0.1度(du)(du)(du)(du)(du)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)恒(heng)溫(wen)(wen)，同(tong)時(shi)要(yao)求濕(shi)(shi)(shi)度(du)(du)(du)(du)(du)值一般較低(di)(di)，因(yin)為人出汗(han)以(yi)后，對(dui)產品將有污染，特(te)別是怕鈉的(de)(de)(de)(de)(de)(de)半導(dao)體車間(jian)，這種車間(jian)溫(wen)(wen)度(du)(du)(du)(du)(du)不宜超過(guo)25度(du)(du)(du)(du)(du)，濕(shi)(shi)(shi)度(du)(du)(du)(du)(du)過(guo)高產生(sheng)(sheng)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)問題更多。相對(dui)濕(shi)(shi)(shi)度(du)(du)(du)(du)(du)超過(guo)55%時(shi)，冷卻水管壁(bi)上會結露，如果發生(sheng)(sheng)在(zai)*密裝置(zhi)或電路中(zhong)，就(jiu)會引(yin)起各種事故。相對(dui)濕(shi)(shi)(shi)度(du)(du)(du)(du)(du)在(zai)50%時(shi)易生(sheng)(sheng)銹。此外(wai)，濕(shi)(shi)(shi)度(du)(du)(du)(du)(du)太高時(shi)將通過(guo)空氣中(zhong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)水分(fen)子(zi)把(ba)硅(gui)片表面(mian)粘著的(de)(de)(de)(de)(de)(de)灰塵在(zai)表面(mian)難以(yi)清除。相對(dui)濕(shi)(shi)(shi)度(du)(du)(du)(du)(du)越(yue)(yue)(yue)高,粘附(fu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)越(yue)(yue)(yue)難去掉，但當(dang)相對(dui)濕(shi)(shi)(shi)度(du)(du)(du)(du)(du)低(di)(di)于(yu)(yu)30%時(shi)，又由于(yu)(yu)靜(jing)電力的(de)(de)(de)(de)(de)(de)作用使粒子(zi)也容易吸(xi)附(fu)于(yu)(yu)表面(mian)，同(tong)時(shi)大(da)量(liang)半導(dao)體器件容易發生(sheng)(sheng)擊穿。對(dui)于(yu)(yu)硅(gui)片生(sheng)(sheng)產**佳(jia)濕(shi)(shi)(shi)度(du)(du)(du)(du)(du)范圍(wei)為35—45%。
大部分(fen)凈(jing)化廠(chang)(chang)房(fang)尤其電(dian)子(zi)工業(ye)用(yong)的(de)(de)潔(jie)凈(jing)廠(chang)(chang)房(fang)都有(you)嚴格的(de)(de)恒(heng)溫(wen)(wen)(wen)(wen)、恒(heng)濕(shi)(shi)的(de)(de)要(yao)求，不(bu)僅對(dui)廠(chang)(chang)房(fang)內(nei)的(de)(de)溫(wen)(wen)(wen)(wen)、濕(shi)(shi)度(du)有(you)嚴格的(de)(de)要(yao)求，而且對(dui)溫(wen)(wen)(wen)(wen)度(du)和相(xiang)對(dui)濕(shi)(shi)度(du)的(de)(de)波動范(fan)圍也有(you)嚴格的(de)(de)要(yao)求。因此(ci)，在凈(jing)化空調系統的(de)(de)空氣處理上要(yao)采取相(xiang)應的(de)(de)措施，例如：夏季(ji)(ji)要(yao)降溫(wen)(wen)(wen)(wen)、去濕(shi)(shi)(因為夏季(ji)(ji)室(shi)(shi)外(wai)(wai)空氣是高(gao)溫(wen)(wen)(wen)(wen)、高(gao)濕(shi)(shi)的(de)(de))，冬季(ji)(ji)要(yao)加(jia)(jia)熱加(jia)(jia)濕(shi)(shi)(因為冬季(ji)(ji)室(shi)(shi)外(wai)(wai)空氣是寒(han)冷(leng)干燥的(de)(de)，室(shi)(shi)內(nei)濕(shi)(shi)度(du)過低會產(chan)生靜電(dian)，靜電(dian)對(dui)電(dian)子(zi)產(chan)品的(de)(de)生產(chan)是致命(ming)的(de)(de))。
對(dui)于凈(jing)化(hua)空調系統的加(jia)(jia)(jia)濕(shi)問題而(er)言(yan)，常(chang)用的加(jia)(jia)(jia)濕(shi)方(fang)(fang)(fang)法有很多種，有淋水、濕(shi)膜、高壓噴霧超聲波等水加(jia)(jia)(jia)濕(shi)，這些加(jia)(jia)(jia)濕(shi)方(fang)(fang)(fang)法屬等焓加(jia)(jia)(jia)濕(shi)過程。而(er)噴蒸(zheng)汽、噴干蒸(zheng)汽和電(dian)極(電(dian)熱(re))加(jia)(jia)(jia)濕(shi)是向空調送風(feng)中噴蒸(zheng)汽，其加(jia)(jia)(jia)濕(shi)方(fang)(fang)(fang)法屬等溫加(jia)(jia)(jia)濕(shi)過程。
從確(que)保潔凈(jing)室內相(xiang)對濕(shi)(shi)(shi)度(du)的(de)(de)(de)精度(du)而言，上述的(de)(de)(de)淋水(shui)、高壓(ya)噴(pen)(pen)霧、濕(shi)(shi)(shi)膜等水(shui)加(jia)(jia)(jia)濕(shi)(shi)(shi)方(fang)法(fa)其控(kong)制的(de)(de)(de)精度(du)不高，故當潔凈(jing)室內相(xiang)對濕(shi)(shi)(shi)度(du)精度(du)要(yao)求≤±10%時(shi)**好(hao)不采(cai)(cai)用(yong)。而采(cai)(cai)用(yong)噴(pen)(pen)干蒸(zheng)(zheng)汽(qi)和電熱(電極)式(shi)加(jia)(jia)(jia)濕(shi)(shi)(shi)的(de)(de)(de)方(fang)法(fa)。噴(pen)(pen)干蒸(zheng)(zheng)汽(qi)的(de)(de)(de)加(jia)(jia)(jia)濕(shi)(shi)(shi)方(fang)法(fa)要(yao)注意干蒸(zheng)(zheng)汽(qi)加(jia)(jia)(jia)濕(shi)(shi)(shi)器有一(yi)個噴(pen)(pen)蒸(zheng)(zheng)汽(qi)效率(lv)的(de)(de)(de)問題，并非噴(pen)(pen)入(ru)空(kong)調(diao)(diao)箱內的(de)(de)(de)蒸(zheng)(zheng)汽(qi)全部(bu)加(jia)(jia)(jia)入(ru)到空(kong)調(diao)(diao)送風中，而其中有一(yi)部(bu)分(fen)變成凝結水(shui)排放出(chu)來(lai)。因此(ci)，選擇干蒸(zheng)(zheng)汽(qi)加(jia)(jia)(jia)濕(shi)(shi)(shi)的(de)(de)(de)加(jia)(jia)(jia)濕(shi)(shi)(shi)量時(shi)應(ying)考慮其噴(pen)(pen)蒸(zheng)(zheng)的(de)(de)(de)效率(lv)。有的(de)(de)(de)廠家給出(chu)的(de)(de)(de)噴(pen)(pen)蒸(zheng)(zheng)效率(lv)為70%。
各種(zhong)不(bu)同的(de)(de)(de)加濕(shi)器的(de)(de)(de)應用范圍(wei)不(bu)同：如：淋水(shui)、濕(shi)膜、高(gao)壓噴霧等水(shui)加濕(shi)器，其特點是加濕(shi)量大、投資費(fei)用低，而相(xiang)對(dui)濕(shi)度控制(zhi)精度較(jiao)差，因此(ci)多用于相(xiang)對(dui)濕(shi)度要求不(bu)嚴格(>±10%)，加濕(shi)量很大的(de)(de)(de)工(gong)業(ye)廠房和一(yi)般舒(shu)適用空調房間(jian)的(de)(de)(de)空調系(xi)統(tong)加濕(shi)。而相(xiang)對(dui)濕(shi)度控制(zhi)精度高(gao)的(de)(de)(de)干蒸汽加濕(shi)和電(dian)極(電(dian)熱)式加濕(shi)因投資較(jiao)高(gao)則多用在相(xiang)對(dui)濕(shi)度精度要求嚴格的(de)(de)(de)恒溫恒濕(shi)潔凈室的(de)(de)(de)空調系(xi)統(tong)加濕(shi)中。
對(dui)于(yu)以微生(sheng)物(wu)(wu)(wu)(wu)為(wei)控制(zhi)對(dui)象(xiang)的(de)(de)生(sheng)物(wu)(wu)(wu)(wu)潔凈室(shi)(shi)(例如：生(sheng)物(wu)(wu)(wu)(wu)制(zhi)藥、潔凈手術室(shi)(shi)、無(wu)菌室(shi)(shi)、生(sheng)物(wu)(wu)(wu)(wu)安全實驗(yan)室(shi)(shi)、實驗(yan)無(wu)菌動物(wu)(wu)(wu)(wu)飼養室(shi)(shi)等)其重點要控制(zhi)微生(sheng)物(wu)(wu)(wu)(wu)的(de)(de)產生(sheng)和傳播(bo)，因(yin)為(wei)潮濕和水(shui)(shui)分是微生(sheng)物(wu)(wu)(wu)(wu)滋生(sheng)和繁殖的(de)(de)條件，因(yin)此水(shui)(shui)加(jia)(jia)濕的(de)(de)淋水(shui)(shui)、濕膜、高(gao)壓噴霧等方法不能(neng)用在生(sheng)物(wu)(wu)(wu)(wu)潔凈室(shi)(shi)中(zhong)，只(zhi)能(neng)采用干蒸汽加(jia)(jia)濕和電(dian)極(電(dian)熱)式加(jia)(jia)濕。
