無塵(chen)潔(jie)(jie)凈(jing)(jing)(jing)室的(de)(de)氣流速度(du)/換氣次數，一(yi)直(zhi)是潔(jie)(jie)凈(jing)(jing)(jing)室設(she)計中(zhong)受到關注的(de)(de)問(wen)題(ti)，隨(sui)著潔(jie)(jie)凈(jing)(jing)(jing)室污染(ran)源(yuan)的(de)(de)控制效果增加及(ji)末級(ji)過濾器效率的(de)(de)提(ti)高等，對(dui)有關規范(fan)、導則等提(ti)出的(de)(de)或參考值(zhi)是否偏于保守，已有不(bu)少(shao)討論;FFU在應用中(zhong)人們擔心的(de)(de)噪音、損壞維修等問(wen)題(ti)已在實踐中(zhong)得到解決，隨(sui)著FFU的(de)(de)不(bu)斷改進，對(dui)是否采(cai)用FFU回(hui)風(feng)系統也是個熱點：懸浮分(fen)子污染(ran)(AMC)的(de)(de)控制在微電子及(ji)IC工業中(zhong)已日益提(ti)到日程上來(lai)，受到關注。以下對(dui)這些問(wen)題(ti)的(de)(de)情況分(fen)別作歸納和分(fen)析。
無塵潔(jie)(jie)凈室內一定潔(jie)(jie)凈度(du)下氣流速度(du)的確(que)定，隨(sui)潔(jie)(jie)凈室用途等具體(ti)情況(kuang)而異(yi)，它不僅受(shou)室內發塵量及過濾器效(xiao)率還受(shou)其(qi)他因(yin)素影響(xiang)，就工業潔(jie)(jie)凈室而言，影響(xiang)潔(jie)(jie)凈度(du)及選擇氣流速度(du)的因(yin)素主要是：
(1)室內污染源：建(jian)筑物組件、人員數量及操(cao)作(zuo)活動、工藝(yi)設備、工藝(yi)材料及工藝(yi)加工本(ben)身等都是塵粒釋放源，根(gen)據(ju)具體情況而異(yi)，變化很大;
(2)室內氣流(liu)(liu)流(liu)(liu)型及(ji)分布(bu)：單向流(liu)(liu)要求均勻、平等(deng)(deng)的流(liu)(liu)線，但會受到工藝(yi)設備布(bu)置和位置變動及(ji)人員活動情況等(deng)(deng)的干(gan)擾形成局部渦(wo)流(liu)(liu);而非單向流(liu)(liu)要求充混合，避(bi)免(mian)死角(jiao)及(ji)溫度分層。
