FFU送風方式為凈化空調系統中的運用

1、伴隨著生產工藝流程的不斷進步，微電子工業生產對周圍環境以及配套設施的需求越來越嚴，其產品的產出率和穩定性*取決于原材料的純度和生產制造環境中的潔凈度等級，對潔凈技術要求也越來越高。凈化室(區)就是指氣體懸浮粒子濃度值、含菌濃度值可控房間(限制的室內空間)。

傳統凈化空調系統通常采用集中化送風方法，即空氣處理設備(電加熱器、冷卻塔、空氣加濕器。粗、初效過濾器等)和離心風機均集中化安裝在潔凈空調機房內，高效送風口設置在系統軟件的末端，并且以密集的送、回風口把空氣處理設備和凈化室相互連接。這種方法主要缺點取決于適應能力較弱，假如臥室的潔凈度等級要調整，是不太可能的。近些年，凈化空調系統發生了一種新的送風方法：風機過濾單元(FanFilterUnit通稱FFU)送風方法。此方式氣體由FFU送至凈化室，從送風靜壓箱經兩邊夾道回至送風靜壓箱，在送風夾道設干試翅片換熱器解決清潔房間內負載。新風系統回收器可集中化建在潔凈空調機房內，處理之后新風系統立即送進送風靜壓箱。這類送風方法融入能力很強，在某個半導體設備新項目凈化空調系統使用了FFU送風方法，本文結合該工程實例與傳統集中化送風形式進行較為。

凈化車間的優點

1、拼裝的結構設計，安裝簡單，*地縮短施工工期，可單用，還可以搭配使用及二次拆卸運用。

2、底端可設置挪動橡膠輪，*準定位、挪動方便快捷，適用修建局域網或地方性的清潔室內空間。

3、頂端模塊化設計構造，可以調整FFU送風發電機組數量和規格，采用超高效過濾器提升凈化車間內部潔凈度等級，提升潔凈*，可擴展性強，且可重復利用價格高。

4、相較于凈化工作臺，內部結構可以用合理空間很大，相對傳統凈化室，成本費用低、施工快、簡約便捷。