長(chang)沙天之凈(jing)凈(jing)化(hua)工程(cheng)-電(dian)(dian)子廠(chang)與(yu)其(qi)他行業在(zai)無(wu)(wu)塵(chen)車間(jian)的(de)(de)(de)(de)(de)建設規劃時(shi)在(zai)于(yu)主要對靜(jing)(jing)(jing)電(dian)(dian)的(de)(de)(de)(de)(de)控制：高濕(shi)(shi)(shi)度(du)(du)實(shi)際上(shang)減小(xiao)(xiao)了(le)無(wu)(wu)塵(chen)車間(jian)、潔(jie)凈(jing)室表面的(de)(de)(de)(de)(de)靜(jing)(jing)(jing)電(dian)(dian)荷(he)積(ji)(ji)累──這是(shi)大(da)家希(xi)望(wang)的(de)(de)(de)(de)(de)結果。較低的(de)(de)(de)(de)(de)濕(shi)(shi)(shi)度(du)(du)比較適合電(dian)(dian)荷(he)的(de)(de)(de)(de)(de)積(ji)(ji)累并(bing)成(cheng)為潛在(zai)的(de)(de)(de)(de)(de)具(ju)有(you)破壞性的(de)(de)(de)(de)(de)靜(jing)(jing)(jing)電(dian)(dian)釋(shi)放源。當相對濕(shi)(shi)(shi)度(du)(du)超過50%時(shi)，靜(jing)(jing)(jing)電(dian)(dian)荷(he)開始迅速(su)消散(san)，但是(shi)當相對濕(shi)(shi)(shi)度(du)(du)小(xiao)(xiao)于(yu)30%時(shi)，它們(men)可以(yi)(yi)(yi)在(zai)*緣體或者未(wei)接地的(de)(de)(de)(de)(de)表面上(shang)持續存在(zai)很(hen)長(chang)一(yi)段(duan)時(shi)間(jian)。相對濕(shi)(shi)(shi)度(du)(du)在(zai)35%到(dao)40%之間(jian)可以(yi)(yi)(yi)作為一(yi)個令人(ren)滿意的(de)(de)(de)(de)(de)折中，半(ban)導體無(wu)(wu)塵(chen)車間(jian)、潔(jie)凈(jing)室一(yi)般都(dou)使用額外的(de)(de)(de)(de)(de)控制裝(zhuang)置以(yi)(yi)(yi)限制靜(jing)(jing)(jing)電(dian)(dian)荷(he)的(de)(de)(de)(de)(de)積(ji)(ji)累。很(hen)多化(hua)學反應的(de)(de)(de)(de)(de)速(su)度(du)(du)，包括(kuo)腐(fu)(fu)蝕過程(cheng)，將(jiang)隨著相對濕(shi)(shi)(shi)度(du)(du)的(de)(de)(de)(de)(de)增高而加快(kuai)。所有(you)暴露(lu)在(zai)無(wu)(wu)塵(chen)車間(jian)、潔(jie)凈(jing)室周圍空(kong)氣中的(de)(de)(de)(de)(de)表面都(dou)很(hen)快(kuai)地被(bei)覆蓋上(shang)至少一(yi)層單(dan)分(fen)子層的(de)(de)(de)(de)(de)水(shui)。當這些表面是(shi)由可以(yi)(yi)(yi)與(yu)水(shui)反應的(de)(de)(de)(de)(de)薄金(jin)屬涂層組成(cheng)時(shi)，高濕(shi)(shi)(shi)度(du)(du)可以(yi)(yi)(yi)使反應加速(su)。幸運的(de)(de)(de)(de)(de)是(shi)，一(yi)些金(jin)屬，例(li)如鋁，可以(yi)(yi)(yi)與(yu)水(shui)形成(cheng)一(yi)層保護型的(de)(de)(de)(de)(de)氧(yang)化(hua)物，并(bing)阻止進一(yi)步(bu)的(de)(de)(de)(de)(de)氧(yang)化(hua)反應;但另一(yi)種(zhong)情況是(shi)，例(li)如氧(yang)化(hua)銅，是(shi)不(bu)具(ju)有(you)保護能力(li)的(de)(de)(de)(de)(de)，因此(ci)，在(zai)高濕(shi)(shi)(shi)度(du)(du)的(de)(de)(de)(de)(de)環境(jing)中，銅制表面更容易受到(dao)腐(fu)(fu)蝕
